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반도체 박막 정밀계측 장비 개발 헬리오스, 프리시드 투자 유치_蜘蛛资讯网

드플래시 박막 계측을 목표로 하고 있으며, 국내 주요 협력사와 핵심 기술 NDA를 체결하고 공동개발(JDP)을 진행 중이다. 중소벤처기업부 디딤돌 첫 연구개발(R&D) 과제도 수주했다.유석재 헬리오스 대표는 “박막 두께 계측 기술은 50년 전 정립된 기술이 큰 틀의 변화 없이 사용되고 있어 미세화된 반도체 공정과의 간극이 크다”며 “마이크로 엘립소메트리라는

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